[摘要]熱流傳感器生產(chǎn)銷售廠家西安克蕾特克位于陜西西安,公司是依托高校、研究單位為技術(shù)背景成立的專業(yè)熱學(xué)測(cè)試儀器設(shè)備的銷售、生產(chǎn)及方案出具的綜合性企業(yè)。
自德國的Henky教授在1914年制造出第一個(gè)熱流傳感器以來:
第1階段:線繞式熱流傳感器
上世紀(jì)20年代開始,在康銅絲或其它材料的熱電偶絲上利用電鍍工藝制造熱電堆。
典型結(jié)構(gòu):用金屬絲(如康銅)先在眾多的絕緣板條上繞線圈,然后將此金屬絲線圈(如康銅)的一半鍍上另一種金屬(如銅),在絕緣板條的兩面形成眾多串聯(lián)的熱電偶一一即串聯(lián)的熱電偶線圈——銅與康銅的交接點(diǎn)形成熱電偶的冷、熱節(jié)點(diǎn)(熱電堆)。多個(gè)熱電堆再焊接串聯(lián)或并聯(lián)后,平鋪粘結(jié)在兩平面絕緣保護(hù)硅膠板間形成熱流傳感器。
第2階段:半導(dǎo)體式熱流傳感器
上世紀(jì)60年代末開始,利用半導(dǎo)體工藝制造熱電堆。
典型結(jié)構(gòu):在硅片上用半導(dǎo)體工藝制造熱電堆,一般使用環(huán)氧樹脂封裝保護(hù)。
第3階段:超?。ū∧な剑崃鱾鞲衅?/span>
上世紀(jì)90年代中開始,利用大規(guī)模集成電路制造工藝:濺射或激光熔刻技術(shù)制造熱電堆。
典型結(jié)構(gòu):使用濺射和激光熔刻技術(shù)制造熱電堆,一般使用聚酰亞胺薄膜封裝保護(hù)。
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